(1)废气浓度的影响
UV光催化治理VOCs适合的应用范围主要包括喷涂车间、印刷、电子、制药、食品等行业产生的低浓度有机废气，对于20.200PPM以下的浓度效果较好，随着VOCs浓度增高，降解效率也会随之降低。目前广泛采用的是185nm和254nm两个波段的真空紫外灯，这是由于真空紫外灯发射的紫外线能量强度有限，单位时间内光解能量不足，效率下降。所以单纯的增加灯管的数量是无法解决高浓度有机气体问题，紫外光解技术不适合中高浓度VOCs气体。
(2)相对湿度低的影响
对于一定的湿度条件下，氧气吸收了大部分185nm紫外光，但是随着湿度的进一步增加，一部分是水蒸气与氧气竞争吸收185nm波长的紫外光，水蒸气吸收了更多的185nm紫外光，同时产生更多羟基自由基。水蒸气与活性氧反应生成羟基自由基，羟基自由基的氧化性要强于臭氧和活性氧，从而光解的速度明显加快，促进单位时间内对于废气去除率的增加，相对湿度在30——65%这个范围，光解效率是上升的，相对湿度超过70%后随之逐渐下降。
(3)风速和绝对湿度差的影响
风速越大，水蒸气进出口的绝对湿度差越小，也就是说风速越大，羟基自由基产生量的绝对值也会越少。因此在风速小的工况下，羟基自由基对挥发性有机物VOCs的贡献大，风速大的工况下，羟基自由基对有机物降解的作用就会变得十分有限，在低浓度下，延长停留时间并不能等效的增加废气去除效率。
(4)光源的选择和影响
一般选择185rim和254nm两个波段的真空紫外灯。真空紫外设备进口的风速影响了紫外灯的灯管表面温度，灯管表面温度与紫外灯的发光效率有直接关系，灯表温高于某一数值时会直接影响其发光效率。臭氧协同真空紫外光对很多有机废气是有降解效果的。254nm的紫外光可以促进臭氧产生氧自由基，从而氧化废气分子，臭氧在真空紫外条件下与空气中的水蒸气可产生羟基自由基，羟基自由基可氧化甲苯等废气。
(5)合理的设备空间布局和结构
目前UV光催化治理VOCs设备的自动化程度低，基本还没有自动检测和监控功能，所以对产品的整体效果不能够进行有效的效率评估。要合理的处理好催化剂的布置、数量，要准确处理好透光性和气体的流速，要进行合理的能量匹配和结构优化。
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