光催化废气处理设备的技术是利用特种紫外线波段，在催化剂的作用下，将氧气催化生成臭氧和羟基自由基及负氧离子，再将VOCs分子氧化还原的一种处理方式。
高效有机废气VOCs处理催化燃烧设备安装在客户厂区
大部份应用于VOCs处理的UV光催化处理设备是引用过去除臭杀菌的技术原理，通常采用双波长紫外光管，将能量主要用于转换臭氧，用普通二氧化钛材料作为催化剂，虽除污效率号称达到80%以上，实际现在使用的UV光催化处理VOCs设备的效率均较低，在无计算技术的控制下，会大量生成臭氧和中间副产物。
在UV光催化氧化技术应用中，包括UV管的波长、光催化材料、反应时间、相对湿度、灰尘颗粒物等都是处理VOCs成败的瓶颈要素。目前普遍认为光催化氧化法能够将VOCs完全降解生成无毒无害的CO2和H2O等，但是在使用中由于反应时间太短，挥发性有机物在光催化氧化反应会生成酮、醛等更恶毒的中间产物和大量的臭氧。
近年来工业城镇造成臭氧超标的其中因素就是滥用等离子体和产臭氧的UV光催化氧化设备。由于这两类设备都是试图通过将空气中的氧转变成臭氧后通过化学反应消解工业废气的技术，但因反应条件的制约，使产生的臭氧转换成自由基和负氧离子的效率很低，同时因反应时间过短，导致设备产生的大部分臭氧未能实现对VOCs处理而直接排放。
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