低温等离子废气处理设备里的介质放电过程中，等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、臭氧和激发态分子等。理论上有机废气与这些具有较高能量的活性基团发生反应，部分会被裂解，最终转化为二氧化碳和水等物质，从而达到净化废气的目的。
国内生产的运用低温等离子体技术的治污设备，制造的环保公司对设备的除污参数，基本上都会提到这类设备的除污效率达到80%以上。大量可用于VOCs处理的低能量等离子体设备仅可用于治理油烟污染，在实际处理工业VOCs过程中，这种低温等离子体技术设备对有机废气的降解基本无效和会生成污染副产物，其降解效率较低，而VOCs的易燃性令其安全性备受关注。
现大量使用的小功率低温等离子体是过去餐厨行业用于油烟处理的，并不适合VOCs处理，且生成副产物和大量的臭氧，会引燃VOCs等问题。
因为等离子体技术在短时间内对包括芳香类化合物的有机废气处理效率是很低的，主要是生成中间产物。如采用大功率等离子体在稳定的有机废气中，也要在一定的时间内才有处理效果。而对于生产源源不断高速排出的VOCs废气，其处理效率很低并会次生很多中间副产物，导致VOCs成分更复杂(这些副产物的危害性可能更大)，同时设备运行时会产生大量无用臭氧，且有机废气绝大部分是易燃、易爆的化合物，等离子体运行时的拉弧极易引爆VOCs，天津爆炸事件已令社会对其的安全性质疑，故该技术在各地被禁用已日逐增加。
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